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半導體行業(yè)凈化解決方案

晶圓設備,微粒過(guò)濾和控制AMC是必須的。微粒過(guò)濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導體產(chǎn)業(yè)首要擔心的問(wèn)題。不能很好的在潔凈室或設備中控制微?;駻MC將大大的削弱企業(yè)的經(jīng)營(yíng)利潤。潔凈室的主要的問(wèn)題是產(chǎn)品、工具、加工過(guò)程和氣味控制的污染。

傳統的通風(fēng)形式是在車(chē)間的整個(gè)天花板上布滿(mǎn)高效過(guò)濾器,整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。如今我公司生產(chǎn)的FFU 使用自帶風(fēng)機的過(guò)濾裝置,解決了繁復的安裝和性?xún)r(jià)比問(wèn)題,是目前市場(chǎng)上一種安靜、價(jià)格優(yōu)良的機組,為潔凈室輸送高質(zhì)量的循環(huán)空氣。

 

污染物

來(lái)源

引發(fā)問(wèn)題

解決方案

粉塵

空氣

造成集成電路斷路、短路,影響成品率

化學(xué)過(guò)濾模塊+普通、高效過(guò)濾器/FFU

NH3,NMP

外氣

“T-top“現象

化學(xué)過(guò)濾模塊

 

 

部分成交客戶(hù)

 

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